RF ve DC Magnetron Püskürtme Tekniği ile Büyütülmüş Ni Katkılı α-Fe2O3 İnce Filmin Optik, Yapısal ve Morfolojik Özellikleri

Authors : Maryam Abdolahpour Salari, Günay Merhan Muğlu, Volkan Şenay, Sevda Sarıtaş

Pages : 580-597

Doi:10.47495/okufbed.1527590

View : 48 | Download : 53

Publication Date : 2025-03-12

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu araştırmada, doğru akım (DC) ve radyo frekansı (RF) magnetron püskürtme tekniği kullanılarak cam alttaş üzerinde Ni katkılı hematit (α-Fe2O3) ince film sentezlenmiştir ve bazı fiziksel özellikler araştırılmıştır. Elde edilen Ni katkılı α-Fe2O3 ince filmin optik, yapısal ve morfolojik analizi, UV-VIS spektroskopisi, EDX, X-ışını kırınımı, taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak belirlenmiştir. Absorbsiyon ölçümüne dayanarak ince filmin bant aralığı enerji değeri hesap edilmiştir ve sonuç 2,12 eV olarak belirlenmiştir. X-ışını kırınım analizi, incelenen ince filmin nanokristal bir yapıya sahip olduğunu göstermiştir. SEM görüntüsüne göre ince film alttaş boyunca düzgün bir yüzey morfolojisi sergilemiştir. Ayrıca AFM görüntüleri, Ni:Fe2O3 ince filminin pürüzsüz bir yüzeye sahip olduğunu gösteren düşük bir RMS pürüzlülük değeri ortaya koymuştur.
Keywords : RF ve DC Magnetron Püskürtme, α-Fe2O3, XRD, SEM, AFM