Polimer yüzeylerinin fonksiyonelleştirilmesi için odaklanmış iyon demeti ile nanoyapılandırma uygulamaları

Authors : Feray BAKAN, Meltem SEZEN

Pages : 893-898

View : 17 | Download : 5

Publication Date : 2017-12-27

Article Type : Research Paper

Abstract :Normal 0 false false false TR X-NONE X-NONE /* Style Definitions */ table.MsoNormalTable {mso-style-name:`Normal Tablo`; mso-tstyle-rowband-size:0; mso-tstyle-colband-size:0; mso-style-noshow:yes; mso-style-priority:99; mso-style-parent:``; mso-padding-alt:0cm 5.4pt 0cm 5.4pt; mso-para-margin-top:0cm; mso-para-margin-right:0cm; mso-para-margin-bottom:10.0pt; mso-para-margin-left:0cm; line-height:115%; mso-pagination:widow-orphan; font-size:11.0pt; font-family:`Calibri`,sans-serif; mso-ascii-font-family:Calibri; mso-ascii-theme-font:minor-latin; mso-hansi-font-family:Calibri; mso-hansi-theme-font:minor-latin; mso-bidi-font-family:`Times New Roman`; mso-bidi-theme-font:minor-bidi; mso-ansi-language:TR;} Polimer malzemelerin yapısal özelliklerinin her geçen gün daha da fazla geliştirilmesine bağlı olarak bu malzemelerin günlük hayatımızdaki kullanım alanı hızla yaygınlaşmaktadır. Diğer bir taraftan, nanoteknoloji uygulamalarının bir sonucu olarak, yeni geliştirilen malzemelerin ve yapıların boyutundaki atomik ölçeklere kadar inebilen küçülme, elektron mikroskopisi uygulamalarını bu bilimin ayrılmaz bir parçası haline getirmiştir. Elektron mikroskopisi destekli kontrollü yüzey modifikasyon işlemleri ile malzemenin yüzey özelliklerinin istenilen doğrultuda ayarlanabilmesi, bu malzemelerin belirli bir amaç için kullanılmasını mümkün kılmaktadır. Bu çalışmada temel olarak, kontrollü elektron ve iyon radyasyonunun farklı polimer malzemelerin yüzey özelliklerinin modifiye edilmesi, optimizasyonu ve karakterizasyonunda kullanılması hedeflenmiştir. Özellikle, yüzey modifikasyonu işlemleri, gaz enjeksiyon sistemleri insert ignore into journalissuearticles values(GIS); eklentili FIB-SEM çift demet platformlarında gaz-yardımlı aşındırma yöntemleri uygulanarak yürütülmüştür. Çalışmanın büyük bir bölümü, polimer yüzeylerinin, XeF 2 gazı yardımıyla aşındırılması sonucunda, minimum yüzey morfolojisi ve yüksek yüzey açısı elde edilmesine odaklanmıştır. Çalışmada, FIB-SEM çift demet platformlarında gerçekleştirilen yüzey modifikasyonu işlemlerinin, malzemelerinin yüzey özelliklerindeki yaptıkları değişimler, diğer ileri analiz teknikleri kullanılarak gözlenmiştir.
Keywords : FIB, Odaklanmış elektronlar ve iyonlar ile depolama, Fonksiyonel polimer yüzeyler, Yüzey karakterizasyonu, Nanoyapılandırma, Maskesiz litografi