Mikroskop camları üzerinde spin kaplama yöntemiyle üretilmiş ZnO ince filmlerine tavlama sıcaklık ve süresinin etkileri

Authors : İbrahim OKUR, Özlem ERTEK

Pages : 119-124

Doi:10.16984/saufbed.27281

View : 20 | Download : 9

Publication Date : 2014-07-17

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, amorf mikroskop camlar üzerine spin kaplama yöntemi kullanılarak ZnO ince filmleri üretilmiş ve bu filmler 350 oC ile 850 oC arasında değişen sıcaklıklarda tavlanmışlardır. Tavlamalar 50 oC’lik aralıklarla gerçekleştirilmiş ve iki farklı insert ignore into journalissuearticles values(0.5 ve 8 saat); tavlama süresi kullanılmıştır. Bütün numunelere ait XRD, SEM ve UVVis spektrumları alınarak numunelere ait optik ve yapısal özellikler analiz edilmiştir. 400 oC’de sekiz saat tavlanan numunede sadece insert ignore into journalissuearticles values(100); yönünde kristallenme gözlenmiştir. 800 oC ve 850 oC tavlamaları SiO2 ve Zn2SiO4 ile bağlantılı iki faz üretmiştir. Yapılan deneyler tavlama sıcaklığı ve süresinin genelde ZnO nanoyapılarının çaplarını artırdığını göstermiştir. Orta sıcaklıklarda insert ignore into journalissuearticles values(350-600 oC); tavlanan numunelerde 370 nm’de insert ignore into journalissuearticles values(3.36eV); konuşlanmış bir soğurma bandı gözlenirken bu pik 650 oC’den sonraki tavlama sıcaklıklarında 290 nm’de yeni bir soğurma piki oluşturmuş ve bu yeni pikin de SiO2 fazından kaynaklandığı tespit edilmiştir. 800 oC’de 8 saat tavlanmış numunelerde SiO2 soğurma pikinde 10 nm’lik bir kırmızaya kayma tespit edilmiştir.
Keywords : ZnO ince filmler, spin kaplama, ısıl tavlama, mikroskop cam, optik spektrum