Determination of Effective Parameters on Ion Energy of a Plasma Ion Source Using O2

Authors : O Faruk FARSAKOĞLU

Pages : 20-35

View : 16 | Download : 9

Publication Date : 2007-03-01

Article Type : Conference Paper

Abstract :Bu çalışmada, soğuk-katot plazma kaynağı tarafından üretilen iyon enerjisinin etkin parametreleri ele alınmıştır. Kaynağın iyon enerjisi O2incelenmektedir. Ölçümler iyon enerjisi dağılım fonksiyonlarını elde etmek için, bir iyon enerjisi analiz cihazı ile gerçekleştirilmiştir. Oksijenin ortalama iyon enerjisi; basıncın, sürücü geriliminin ve sürücü akımının fonksiyonu olarak hesaplanmıştır. İyon akım yoğunluğu üzerindeki bu parametrelerin etkileri bir devre kullanılarak yapılmıştır. Farklı pompalama hızları için akımla gerilim arasındaki değişmeler analiz edilmiştir
Keywords : İyon Destekli İnce Film Kaplama, Optik İnce Film, Plazma İyon Kaynağı