Effect of Annealing Process on Optical, Electrical and Surface Properties of ZnO films

ZnO filmleri 3005 ï‚°C sıcaklıktaki cam tabanlar üzerine ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği kullanılarak hazırlanmıştır. Depolanan filmler çeşitli sıcaklıklarda insert ignore into journalissuearticles values(350, 450, 550 ï‚°C); 2 saat süre ile tavlanmıştır. Tavlanmış ve tavlanmamış ZnO filmlerinin elektrik, optik ve yüzey özellikleri incelenmiştir. Tüm filmlerin optik geçirgenlik ve absorbans spektrumları UV-VIS Spektrofotometre ve optik bant aralıkları da optik metot kullanılarak belirlenmiştir. Ayrıca, ZnO`in görünür emisyon pikleri ve nokta kusurları da fotolüminesans spektrumu kullanılarak belirlenmiştir. Kalınlık, kırılma indisi ve sönüm katsayısı değerleri spektroskopik elipsometre tekniği ile elde edilmiştir. Elektrik ve yüzey özellikleri sırasıyla dört uç tekniği ve atomik kuvvet mikroskobu ile incelenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre ZnO filmlerinin optik, elektrik ve yüzey özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır.