Effect of Annealing Temperature on the Physical Properties of the ZnO Thin Films Deposited by Ultrasonic Spray Pyrolysis

Authors : Sema KURTARAN, Serhat ALDAĞ, Göksu ÖFÖFOĞLU

Pages : 54-61

Doi:10.19113/sdufbed.46582

View : 24 | Download : 11

Publication Date : 2016-04-15

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, sulu çözeltilerden insert ignore into journalissuearticles values(pH = 5); elde edilen ZnO filmlerinin optik, elektriksel, yapısal ve yüzeysel özellikleri rapor edilmiştir. Filmler cam tabanlar üzerine 350 ± 5 °C taban sıcaklığında Ultrasonik Kimyasal Püskürtme tekniği ile çöktürülmüştür. Deiyonize su içerisinde çözünen Çinko asetat başlangıç püskürtme çözeltisi olarak kullanılmıştır. ZnO filmleri fiziksel özelliklerini iyileştirmek amacıyla 450 ve 500 °C sıcaklıklarda hava ortamında tavlama işlemine tabi tutulmuştur. X-ışını kırınımı analizleri, filmlerin polikristal formda ve zincite tipi kristal yapıya sahip olduğunu ortaya koymaktadır. Elektriksel özdirenç değerlerinin tavlama işlemi sonrasında arttığı belirlenmiştir. Filmler görünür bölgede yüksek geçirgenliğe sahiptirler. Ayrıca, filmler için kırılma indisi, n, ve sönüm katsayısının, k, dalgaboyuna bağlı değişimleri de rapor edilmiştir. Filmlerin optik bant aralığı değerleri optik metot yardımı ile belirlenmiştir. Sonuç olarak, tavlama sıcaklığının elde edilen filmlerin optik, yapısal, elektriksel ve yüzeysel özellikleri üzerinde önemli bir etkisi olduğu sonucuna varılmıştır.
Keywords : İnce film, Tavlama, ZnO, X ışını kırınımı, Yüzey özellikleri