Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi ile Tek ve Çok Katmanlı Grafen Sentezi ve Karakterizasyonu

Authors : Erhan ÖZKAN

Pages : 277-285

View : 13 | Download : 7

Publication Date : 2023-01-31

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada son yılların keşfedildiği zamandan itibaren üstün özellikleri sayesinde dünya çapında endüstrinin yönünü değiştirmeyi başaran ve bu sebeple oldukça ilgi çeken malzeme durumuna gelen grafenin sentezlenmesi ve karakterizasyonuna ait detaylı bilgiler paylaşılmıştır. Karbon atomlarının hekzagonal şekilde dizildiği nano ölçekte iki boyutlu bir formu olan grafenin; fayda-maliyet, yatırım ve zaman parametreleri ele alındığında şu ana kadar gerçekleştirilen en uygun üretim yöntemi olan kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile sentezlenesinde; büyüme sıcaklığı, altlık malzeme, tavlama süresi, basınç, kullanılan gazların kalitesi ve akış miktarları gibi birçok parametre etkilidir. Bu parametrelerin kombinasyonlarına göre grafen yapısı farklılıklar göstermektedir. Bu çalışma kapsamında tek katmanlı ve çok katmanlı grafen sentezlenmesinin detayları araştırılmıştır. Tek katmanlı ve çok katmanlı üretilen grafen filmlerin karakterizasyonunda Raman Spektroskopisi kullanılmıştır. Filmlerin yapı kontrolü Taramalı Elektron Mikroskobu insert ignore into journalissuearticles values(SEM); ile gerçekleştirilmiştir. Tek katmanlı ve çok katmanlı grafen film tabakalarının üretimi ve karakterizasyonu için gerekli olan parametreler tespit edilmiştir.
Keywords : Grafen, CVD, Tek Katmanlı Grafen, Çok Katmanlı Grafen, Raman, SEM, Graphene, Single Layer Graphene, Multilayer Graphene