Arduino Tabanlı Döndürerek İnce Film Kaplama Sistemi Tasarımı ve MgO İnce Film Üretimi

Authors : Tayyar GÜNGÖR, Bahtiyar USLU, Ebru GÜNGÖR, Ahmet BÖBREK

Pages : 31-35

View : 19 | Download : 14

Publication Date : 2019-02-04

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada Döndürerek İnce Film Kaplama insert ignore into journalissuearticles values(DIFK); sistemi tasarlanmış ve uygulanabilirliği test edilmiştir. Bunun için Arduino-UNO R2 platformu kullanılarak elde edilen sistem bileşenleri; bir hard disk insert ignore into journalissuearticles values(HDD); motoru, motor sürücü birimi ve ona entegre edilen dönen bir birimden oluşmaktadır. Tasarımı ve üretimi laboratuvar ortamında gerçekleştirilen DIFK sisteminde alttaş, uygun adım değerleri ve zaman aralıkları ile 30 saniye süresince 3000 devir/dakika dönüş hızında sabit hızda döndürülebilmektedir. Sistemin özellikleri, cam alttaş üzerine magnezyum oksit insert ignore into journalissuearticles values(MgO); ince film biriktirme işlemi için test edilmiş ve üretilen ince filmin beklenen fiziksel özelliklere sahip olduğu gözlenmiştir. Mg kaynağı olarak alkol tipi çözücüler içinde çözünen 0.1M magnezyum asetat tetrahidrat insert ignore into journalissuearticles values(Mginsert ignore into journalissuearticles values(CH3COO);2.4H2O); tuzu kullanılmıştır. Ardışık kaplamaların yapılabildiği kendi-tasarım DIFK sistemi ile cam alttaş üzerine 1, 2, 3 ve 4 kez ardışık MgO ince film biriktirilmiştir. Her bir kaplama sonrası film/alttaş yapısındaki örnek, 100C de 30s süresince ara ısıtmaya tabi tutulmuştur. 300-800 nm aralığında optik geçirgenlik spektrumları elde edilen ince film örneğe ait film kalınlıkları, iteratif bir teknikle tek katmanlı film için 30 nm ve 4 katmanlı film için 119 nm olarak hesaplanmıştır.
Keywords : Döndürerek ince film kaplama sistemi, MgO ince film, HDD motor kontrol, Arduino Uno