Borofenin Si/SiO2 Substratına Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemiyle Direkt Olarak Sentezlenmesi ve Analizi

Authors : Mehmet Bay

Pages : 1280-1286

Doi:10.34248/bsengineering.1548625

View : 39 | Download : 63

Publication Date : 2024-11-15

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, borofenin doğrudan Si/SiO2 alt taşı üzerine kimyasal buhar biriktirme metodu (KBB) ile sentezlenmesi ve analizine, ayrıca potansiyel uygulamalarına yer verilmiştir. Borofenin kalınlık kontrollü olarak homojen büyütülmesi, 2 boyutlu malzeme tabanlı yüksek performanslı cihaz üretiminde kritik öneme sahiptir. Borofen, Grafene benzer özelliklere sahip olup kristal yapısı, yüksek çekme gücü ve elektrik iletkenliği gibi özellikleri nedeniyle, sensör uygulamaları, foto detektörler, gaz sensörleri, 2 boyutlu enerji depolama uygulamaları gibi birçok alanda cazip bir malzeme haline gelmiştir. Sonuçlar, borofen tabanlı cihazların potansiyelinin yüksek olduğunu göstermektedir. Bu potansiyel, yüksek kristalli ve katmanlı iki boyutlu düzenleme gibi benzersiz yapısal özellikler nedeniyle elde edilmiştir. Metal alt taşlarında borofenin büyütülmesi, kolay bir şekilde sentezlenirken, yüksek kaliteli analiz imkânı ve performanslı cihazlar için kritik olan Si/SiO2 alt taşlarında büyütülmesi, katalizör etkisi azaldığı için daha zor olur. Bu zorluk, KBB parametreleri olan basınç, reaksiyon sıcaklığı, gaz akış oranı, kimyasal toz miktarları gibi birçok KBB parametresi optimize edilerek borofenin Si/SiO2 alt taşı üzerine başarılı şekilde büyütülmesiyle aşılmıştır.
Keywords : Borofen, KBB, Si SiO2