Design of Quartz Chemical Delivery Parts for High Temperature Vacuum Chambers Base of Simulation Results / Yüksek Sıcaklık Vakum Odaları için Kuvars Kimyasal İletim Parçalarının Simülasyon Sonuçları Temelli Tasarımı

Authors : Erdar KAPLAN, Faruk ÜNKER, Olkan ÇUVALCI

Pages : 33-39

Doi:10.18245/ijaet.59124

View : 45 | Download : 9

Publication Date : 2015-01-16

Article Type : Other Papers

Abstract :Many of today’s technologies and research techniques depend on process and methods in high and ultra-high vacuum chambers. High temperature vacuum chambers require innovative concept and use of unusual materials in design to achieve quality performance. In order to obtain quality performance, the temperature and gas delivery on the vacuum chamber surface must be uniformly distributed. In this work, a new funnel for high temperature vacuum chamber was successfully designed and tested using computer-based simulation techniques. The funnel was made of quartz crystal insert ignore into journalissuearticles values(Grade 2); due to ability to absorb temperature, properties of low gas permeability and low temperature coefficient. In order to mitigate O-rings from high temperature failure and to reduce non-uniformity effect during temperature delivery, a new quartz funnel was developed. The simulation and experimental results show that uniformity distributions in temperature of vacuum chamber surface were obtained with new funnel design. Özet: Günümüz teknolojilerinin ve araştırma tekniklerinin çoğu yüksek ve ultra yüksek vakum odalarındaki proses ve metotlara bağlıdır. Yüksek sıcaklık vakum odaları, yenilikçi kavram ve kaliteli performans elde edilen tasarımda alışılagelmedik malzemelerin kullanımını gerektirir. Kaliteli performans elde etmek için vakum odası yüzeyine sıcaklık ve gaz iletimi eşit dağılmalıdır. Bu çalışmada, bilgisayar bazlı simülasyon teknikleri kullanılarak yüksek sıcaklık vakum odası için yeni bir huni tasarımı başarılı bir şekilde tasarlanmış ve test edilmiştir. Huni, sıcaklık emme yeteneği, düşük gaz geçirgenliği ve düşük sıcaklık katsayısı özellikleri sebebi ile kuvars kristalinden yapılmıştır. Sıcaklık iletimi esnasında eşit olmayan dağılımın etkisini azaltmak ve yüksek sıcaklık düşüşlerini düşürmek için yeni bir kuvars huni geliştirilmiştir. Simülasyon ve deney sonuçları gösterdi ki, vakum odası yüzeyinin sıcaklığındaki eşit dağılımlar yeni huni tasarımı ile elde edilmiştir.
Keywords : Vacuum chambers, Quartz crystal, funnel, Computer based simulations Vakum Odaları, Kuvars Kristali, Huni, Bilgisayar Bazlı Simülasyon

ORIGINAL ARTICLE URL