Spectroellipsometric characterization of ZnO films produced by chemical spray pyrolysis

Authors : Olcay Gençyılmaz

Pages : 51-53

Doi:10.18596/jotcsa.90291

View : 15 | Download : 13

Publication Date : 2015-06-09

Article Type : Other Papers

Abstract :Bu çalısmada, ZnO filmleri cam tabanlar üzerine kimyasal püskürtme tekniği kullanılarak üretildi. ZnO filmlerinin elipsometrik ölçümleri, spektroskopik elipsometri tekniği kullanılarak yapıldı. Filmlerin önemli optik sabitleri olan kalınlık insert ignore into journalissuearticles values(d);, kırılma indisi insert ignore into journalissuearticles values(n); ve sönüm katsayısı insert ignore into journalissuearticles values(k); değerleri farklı gelme açılarında insert ignore into journalissuearticles values(50°-60°-70°); yapılan elipsometrik ölçümlerden yararlanılarak belirlendi. Kalınlık ve optik sabitlerin hesaplamalarında değisen açılı spektroskopik elipsometre kullanıldı. Çesitli açılarda ölçüm yapılarak en uygun gelme açısı belirlendi. Optik parametreler insert ignore into journalissuearticles values(n, k ve d);, Cauchy-Urbach dispersiyon modeli kullanılarak iki farklı elipsometrik açı olan ψ ve deneysel ve teorik verilerinin fitlenmesi sonucu elde edildi. Ayrıca, elipsometrik ölçümlerde önemli bir faktör olan ZnO filmlerinin yüzey özellikleri ve pürüzlülük değerleri atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelendi. Sonuç olarak, kalınlık, kırılma indisi ve sönüm katsayısı gibi ZnO filmlerinin optik parametreleri üzerine elipsometrik gelme açısının ve yüzey özelliklerinin etkisi arastırıldı.
Keywords :