PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi

Home Page
About
Submit A Journal
Submit A Conference
Submit Paper/Book
- Submit a Preprint
- Submit a Book
Contact

Bitlis Eren Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi
Volume:8 Issue:3
PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi

PECVD Yöntemi ile Polimerik Hidrojel İnce Filmlerin Üretimi

Pages : 1019-1028

View : 16 | Download : 14

Publication Date : 2019-09-30

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışma ile ilk kez hidrojel özellikteki PHPMA (poli(hidroksipropil metakrilat)) ince filmleri gaz fazı bir yöntem olan plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemi ile üretilmiştir. Substrat sıcaklığının, reaktör basıncının ve plazma gücünün, PHPMA ince filmlerinin kaplama hızları üzerine etkileri incelenmiştir. PECVD parametrelerinin, PHPMA ince filmlerinin morfolojileri, kimyasal yapıları ve ıslanabilirlik özellikleri üzerine etkileri açığa çıkarılmıştır. Ayrıca, bu çalışma kapsamında PHPMA ince filmlerinin, kaplama mekanizması ve kinetiği de incelenmiştir. En yüksek kaplama hızı (120,2 nm/dk) 20 ° C substrat sıcaklığında, 250 mtorr reaktör basıncında ve 20 W plazma gücündeelde edilmiştir. PHPMA kaplamasının aktivasyon enerjisi -22,16 kJ/mol olarak bulunmuştur.
Keywords : CVD, PHPMA, Hidrojel, İnce film

ORIGINAL ARTICLE URL

VIEW PAPER (PDF)

* There may have been changes in the journal, article,conference, book, preprint etc. informations. Therefore, it would be appropriate to follow the information on the official page of the source. The information here is shared for informational purposes. IAD is not responsible for incorrect or missing information.