BAKIR ALTTAŞA YAPILAN ÖN İŞLEMİN TEK TABAKA GRAFEN FİLM KALİTESİNE ETKİSİ

Authors : Mücahit YILMAZ, Yasin Ramazan EKER

Pages : 548-561

View : 16 | Download : 10

Publication Date : 2016-09-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Tekdüze büyük ölçekli grafen tabakaları sentezlemek için çeşitli metotlar önerilmiştir. Bunlardan en çok tercih edileni bakır veya nikel alttaş üzerine kimyasal buhar biriktirme (CVD) yöntemiyle grafen büyütmektir. Son çalışmalarda, kusursuz formasyona sahip tek tabaka grafenin, bakırın kristal yapısına kritik bir şekilde bağlı olduğu bilinmektedir. Bu etkinin yanı sıra, bakır alttaşa yapılan ön işlemin de grafen oluşumunu etkilediği düşünülmüştür. Çalışmada alttaş olarak 25 μm kalınlıklı bakır folyolar standart temizleme, elektroliz ile parlatma ve tavlama gibi üç farklı ön işlemden geçirilmiştir. Daha sonra metan (CH4) ve hidrojen (H2) proses gazları kullanılarak grafen sentezlenmiştir. Bakır folyonun yapısı ve kalitesi XRD ve XRF ile belirlenmiştir. Büyütme işleminden sonra bakır alttaşların üst yüzeyleri ve alt yüzeyleri Konfokal Raman kullanılarak incelenmiş, oluşan grafenin özellikleri tespit edilmiştir. Sonuç olarak elektroliz ile parlatma ön işleminden geçirilmiş bakır alttaş üzerinde, tek tabaka grafen oluşumu gözlenirken diğer ön işlemlerden geçirilmiş bakır alttaşlar üzerinde çok tabakalı grafenler gözlenmiştir
Keywords : Tek tabaka grafen, CVD, Bakır alttaş, Elektroliz ile parlatma