SOL-JEL SPİN KAPLAMA YÖNTEMİYLE HAZIRLANMIŞ ZnO İNCE FİLMLERİN OPTİK ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ

Authors : Tacettin YILDIRIM, Aliye ÇANKAYA, İlker ÖCALAN

Pages : 147-156

View : 20 | Download : 15

Publication Date : 2016-01-15

Article Type : Research Paper

Abstract :Sol-jel spin kaplama yöntemi kullanılarak ZnO ve ZnO:N ince filmler kuartz altlık üzerine hazırlandı. ZnO ince filmlere hava ortamında 400 o C’de ZnO:N ince filmlere ise N ortamında 700 o C sıcaklıkta 2 saat tavlama işlemi yapıldı. Hazırlanan ZnO ve ZnO:N ince filmlerin başlangıç çözeltisindeki N oranına göre yapısal, yüzeysel ve optik özellikleri x-ışını kırınımı (XRD), taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve optik soğurma ölçümleriyle incelendi. N oranı arttıkça örneklerin yapısal, yüzeysel ve optik özelliklerinde değişimler olduğu ve bant aralığı değerinin oda sıcaklığında 30 meV azaldığı görüldü.
Keywords : ZnO ve ZnO N ince filmler, Döndürerek kaplama, XRD, SEM, Optik özellikler