İnce Film Kapasitör İçin Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 Nano Ölçekli Tozlar Hakkında Bir Yeni Anlayış

Authors : Mehmet Faruk EBEOĞLUGİL, Erdal ÇELİK

Pages : 107-116

View : 87 | Download : 8

Publication Date : 2014-12-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Mevcut makale kapasitor uygulması için sol-jel tekniği kullanılarak relaksör ferroelektrik Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 (PMN) nanotozların ve n-tipi Si altlıklar üzerine PMN filmlerin sentezlenmesi, karakterizasyonu ve elektriksel özellikleri geniş bir şekilde açıklanmaktadır. Saydam çözeltiler Pb, Mg ve Nb esaslı prekursörler, metanol ve glasiyel asetik asitten (GAA) hazırlanmıştır. Elde edilen çözeltiler PMN karışımın jel yapısını oluşturmada 80oC’de 60 için havada kurutulmuş ve 530oC’de 3 saat için ısıl işlem yapılmış ve bunu takiben 800 oC ve 1000oC aralığında 2 saat için havada sinterlemiştir. Sinterleme sonrası PMN tozları nano ölçekli toz oluşturmak için 24 saat öğütülmüştür. Toz boyutu partikül boyut ölçüm cihazıyla ölçülmüştür. Sonuçta tozlar alkolde disperse edilmiş ve oluturulan süspansiyon n-tipi Si üzerine kaplanmıştır. Filmler 50oC’de 15 dakika için kurutulmuş ve müteakiben bunların yapışma mukavemetini artırmak için 730 oC’de 30 dakika için havada ısıl işlem yapılmıştır. Tozların ve kaplamaların termal, yapısal, mikroyapısal, mekanik ve elektriksel özellikleri DTA/TG, FTIR, XRD, SEM, refraktometre, spektrofotometre ve yüksek çözünürlüklü dielektrik analizör cihazları kullanılarak karakterize edilmiştir. Çalışma Si yarıiletken yüzey üzerine kaplanmış PMN yapısının tozlardan oluşturulması bir yeni anlayış sağlamıştır. © Afyon Kocatepe Üniversitesi
Keywords : PMN, Nano toz

ORIGINAL ARTICLE URL