Seramik Karoların Altın Dekorasyonunda Katodik Ark-FBB TiN Kaplama Proses Parametrelerinin Optimizasyonu

Authors : Belgin TANIŞAN, Tugay TOSUN

Pages : 186-192

Doi:10.35414/akufemubid.416815

View : 19 | Download : 9

Publication Date : 2019-05-28

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, seramik karo yüzeyinde dekoratif altın renginde TiN kaplamalar üretmek için Katodik Ark FBB proses parametrelerinin optimizasyonu amaçlanmıştır. Kaplama ünitesinde; altlık malzemesi olarak sırlı seramik karolar, katot olarak saf Ti diskler ve reaktif gaz olarak da nitrojen (N 2 ) kullanılmıştır.   Kaplama işlemi; sabit biriktirme süresinde (90 sn), katod akımı (100-150-200A) ve N 2 akış oranı (550-650-750 sccm) değiştirilerek gerçekleştirilmiştir. Üretilen kaplamaların L*a*b* renk parametreleri spektrafotometre ile ölçülmüş ve ticari TiN kaplamaların L*a*b* değerleri ile karşılaştırılmıştır. Sonuç olarak, TiN stokiyometrisine yakın olduğu düşünülen proses parametreleri ile (550 sccm-150 A ve 650 sccm-200 A) ticari TiN kaplamalara benzer altın renginde kaplamalar üretilmiştir.
Keywords : TiN kaplama, Katodik Ark FBB, Seramik karo, Dekorasyon