Electrical Properties of The Heterojunction Diode Produced Based on IGZO Thin Film

Authors : Serap YİĞİT, Yasemin GÜNDOĞDU, Hamdi Şükür KILIÇ

Pages : 257-265

Doi:10.35414/akufemubid.867847

View : 80 | Download : 11

Publication Date : 2021-04-30

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, PLD tekniği kullanarak oda sıcaklığındaki SLG ve p-Si wafer üzerine 5×10-2 ve 7×10-2 mbar oksijen gaz basıncı altında IGZO ince filmler üretilmiş ve 300o C sıcaklıkta tavlanmışlardır. IGZO ince filmler amorf yapıda büyümüşlerdir. Oksijen gaz basıncı artarken, ince filmi oluşturan parçacıkların boyutu büyümüştür. 7×10-2 mbar oksijen gaz basıncı altında büyütülmüş ve tavlanmamış IGZO ince filme dayalı olarak IGZO/Si heteroeklem diyotu üretilmiş ve bu diyotun karanlık ve aydınlık şartlarda J-V eğrileri elde edilmiş, ideality faktörleri ve bariyer yükseklikleri hesaplanmıştır. Aydınlık ortam için, J-V, Cheung Cheung ve Norde metotları ile IGZO/Si heteroeklem diyotun n,〖 R〗_s and Ф_b değerleri hesaplanmıştır. Bu çalışmadan elde edilen sonuçlar analiz edilmiş ve bulunan değerlerin birbirlerine yakın olduğu yorumu yapılmıştır.
Keywords : IGZO, ince film, diyot, Cheung Cheung, Norde, PLD

ORIGINAL ARTICLE URL