Uç ağırlıklı piezoelektrik kirişlerin ivmeölçer olarak tasarımı ve sayısal analizi

Authors : Levent Beker

Pages : 350-356

View : 93 | Download : 165

Publication Date : 2023-12-31

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu araştırma, MEMS tabanlı ivmeölçerlerin tasarımı ve geliştirilmesi üzerine yoğunlaşmaktadır. Günümüzde birçok cihaz, hareket ve oryantasyon algılama yetenekleri sayesinde daha işlevsel hale gelmiştir ve bu yetenekler büyük ölçüde ivmeölçerler sayesinde sağlanmaktadır. Çoğu durumda, cihazların hareketleri belirgin eksenler boyunca gerçekleşir ve bu nedenle, bu özel eksenleri algılayabilen sensörlerin geliştirilmesi genellikle yeterlidir. Literatürde, çok eksenli hareketleri algılayabilen sensörlerin geliştirilmesi önemli bir araştırma alanı olarak kabul edilse de, pratikte, belirli eksenlere odaklanan ivmeölçerlerin tasarım ve üretimi daha hızlı ve maliyet etkin olabilmektedir. Bu çalışmada, hem dikey hem de dönme eksenlerindeki ivmeleri algılayabilen yeni bir ivmeölçer yapısı tasarlanmıştır. Kiriş yapıları kullanılarak geliştirilen bu sensör, yaklaşımsal analizle incelenmiş ve geometrik etkiler detaylı bir şekilde ele alınmıştır. Elde edilen bulgular, farklı eksenlerde çalışabilen daha ileri ivmeölçer tasarımlarına yol gösterici olabilir.
Keywords : piezoelektrik, MEMS, algılayıcı tasarımı