TVA ile üretilen Cam / GaN / InGaN Filmin Artan Tavlama Sıcaklığının Bazı Fiziksel Özelliklerine Etkileri

Authors : Erman Erdoğan

Pages : 1-10

Doi:10.18185/erzifbed.541448

View : 17 | Download : 8

Publication Date : 2020-03-20

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, GaN / InGaN yarı iletken filmler, termiyonik vakum ark (TVA) yöntemi kullanılarak cam alttaş üzerine büyütüldü. Üretilen filmlerin bazı fiziksel özelliklerini iyileştirmek için, farklı sıcaklıklarda termal tavlama yapıldı ve tavlama sıcaklığının, filmlerin optik ve yüzey özellikleri üzerindeki etkisi araştırıldı. UV-VIS spektrofotometresi kullanılarak geçirgenlik ve soğurma spektrumları alınmış ve optik enerji bant aralıkları belirlenmiştir. Filmlerin yüzey görüntüleri ve yüzey pürüzlülük değerleri, atomik kuvvet mikroskopisi (AFM) kullanılarak elde edildi. Elde edilen sonuçlara göre, GaN / InGaN filmlerin bazı fiziksel özellikleri termal tavlama ile iyileştirilmiş ve bu filmler çeşitli teknolojik alanlarda kullanım için araştırılmıştır.
Keywords : GaN InGaN, Geçirgenlik, Bant aralığı, Atomik Kuvvet Mikroskobu AFM, Termiyonik vakum ark TVA, Tavlama