Effect of Various Precursors on ZnO Thin Films by USP Technique

Authors : Hilal Kübra SAĞLAM, Sevda SARITAŞ, Mehmet ERTUGRUL

Pages : 926-935

Doi:10.18185/erzifbed.1009191

View : 28 | Download : 12

Publication Date : 2021-12-18

Article Type : Research Paper

Abstract :ZnO düşük maliyetinden ve sahip olduğu avantajlı özelliklerinden dolayı ince film kaplamada kullanılan başlıca malzemelerdendir. Bu çalışmanın amacı, ultrasonik sprey piroliz (USP) tekniği ile kaplanmış çinko oksit ince filmlerin optik, morfolojik ve yapısal özelliklerini incelemektir. ZnO ince filmler, çinko asetat ve çinko nitrat gibi farklı öncü çözeltiler kullanılarak 450°C'de büyütülmüştür. Bu işlemlerde cam altlık kullanılmıştır. 0.1M ve 100 mL çözeltiler hazırlanmıştır. XRD desenlerine göre büyüme yönelimleri (002) şeklindedir. Çinko asetat ve çinko nitrat için bandgap değerleri sırasıyla, 3.25 eV ve 3.13 eV olarak ölçülmüştür. Ayrıca Debye-Scherrer hesaplamalarından anlaşıldığı üzere öncü tuz olarak seçilen çinko asetat ile elde edilen filmlerin ZnO tane boyutu öncü tuz olarak seçilen çinko nitrat ile elde edilen filmle hemen hemen aynıdır. Son olarak ZnO filmlerdeki oksijen miktarı farklı çözeltilere ve çinko tuzlarına bağlı olarak farklılık gösterir.
Keywords : Gaz Sensörü, İnce Film, ZnO İnce Film, Ultrasonik Sprey Piroliz USP, Gaz Sensörü, İnce Film, ZnO İnce Film, Ultrasonik Sprey Piroliz USP

ORIGINAL ARTICLE URL