Metal-Gözenekli Silisyum Direk Hidrojen Pili Üretim Parametrelerinin Geliştirilmesi

Authors : Çiğdem ORUÇ, Sevinç GÜLER, Hüseyin Murat LUŞ

Pages : 544-557

Doi:10.29109/gujsc.383081

View : 25 | Download : 24

Publication Date : 2018-09-30

Article Type : Research Paper

Abstract :Gözenekli silisyum (GS) üretim yöntemi olan, elektrokimyasal aşındırma (anadizasyon) koşullarının, Metal-Gözenekli Silisyum Direk Hidrojen Pili (Metal-GS-DHP) elektriksel parametrelerine etkisi oldukça yüksektir. Bu çalışmada 4 temel anodizasyon koşuluyla (zaman, akım yoğunluğu, hidroflorikasit:su  oranı ve Işık), n tipi, (111) yönelimli, tek kristal silisyum kullanılarak GS üretilmiştir. Anodizasyon zamanı 5-100 dakika, akım yoğunluğu 5-75 mA/cm 2 , HF:deiyonize H 2 O oranı 1:1- 1:11 ve ışık şiddeti 1000-7000 lüx aralıklarında uygulanmıştır .En iyi anodizasyon zamanı 40 dakika ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 590 mV Isc=30 m A’dir. En iyi  akım yoğunluğu  20 mA/cm 2 ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 700 mV, Isc=15 m A’dir. En iyi  HF:H 2 O oranı 1:3 ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 420 mV, Isc=10 m A’dir. En iyi ışık şiddeti  4000 lüx ve buna karşılık gelen Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri, Voc= 540 mV Isc=18 m A’dir. Deney sonuçlarından anlaşılacağı üzere Metal-GS-DHP elektriksel pil parametreleri anodizasyon koşullarına direk bağlıdır.
Keywords : Gözenekli Silisyum, Anodizasyon Koşulları