Geçmişten Günümüze Gaz Basınç Sensörleri “Piezorezistif Sensörler ÜzerineBir Derleme

Authors : Yasin Arslan, Gülşah Demirhan Aydın, Deniz Karaçor, Nuri Akgün

Pages : 1046-1061

Doi:10.29109/gujsc.1622963

View : 175 | Download : 151

Publication Date : 2025-09-30

Article Type : Review Paper

Abstract :Çalışmamız, endüstri, havacılık ve uzay, iklimlendirme, otomotiv ve biyomedikal alanlarında kullanılan gaz basınç sensörlerine odaklanmaktadır. Basınç sensörlerinin tarihsel gelişimi ele alındıktan sonra, sensörler iki ana başlık altında incelenmiştir: mekanik temelli sensörler ve modern teknolojilerle geliştirilen sensörler. Derleme makalemizin odağı, piezorezistif basınç sensörleridir; çünkü bu sensörler, yaygın kullanım alanlarının yanı sıra, malzeme ve üretim teknolojilerindeki gelişmelerin ışığında birçok geliştirme çalışmasına konu olarak bugün sahip oldukları üstün özelliklere ulaşmıştır. Sıcaklık değişimlerine karşı direnç göstermeleri, ölçüm sonuçlarının zamana bağlı stabilitesini korumaları, geniş basınç ve sıcaklık aralıklarında kullanılabilir hale gelmeleri, bu sensörlerin öne çıkan niteliklerindendir. Bu sensörlerin fabrikasyon ve tasarım süreçleri, kullanılan malzemeler ve tarihçeleri üzerine kapsamlı bir literatür taraması yapılmıştır. Ayrıca, piezorezistif sensörlerin kullanım alanları ve performansları detaylı bir şekilde incelenmiştir. Bu bilgiler, mühendislerin ve akademisyenlerin basınç sensörü seçimlerini kolaylaştıracak ve çalışmalarını hızlandıracaktır. Makalede, piezorezistif gaz basınç sensörlerinin temel özellikleri, tasarımları ve kullanım alanları ele alınacak, ayrıca gelecekteki gelişmeleri hakkında öngörüler sunulacaktır. Farklı sensör tipleri arasında yapılan kıyaslamalarla, bu sensörlerin çeşitli uygulamalardaki etkileri değerlendirilmiştir.
Keywords : Basınç Sensörleri, Piezorezistif, MEMS

ORIGINAL ARTICLE URL