Production of high-transparent MgO films by radio-frequency sputtering method

Authors : Fatih ŞENASLAN

Pages : 724-725

Doi:10.17714/gumusfenbil.1106591

View : 11 | Download : 6

Publication Date : 2022-07-15

Article Type : Other Papers

Abstract :Magnezyum oksit (MgO) ince filmler, radyo frekansı (RF) saçtırma yöntemiyle silikon ve cam altlıklar üzerine biriktirildi. MgO filmler 400 ⁰C'de 4 saat tavlandı. MgO filmlerin yapı ve optik özellikleri üzerine çalışma basıncının etkisi araştırıldı. İnce filmlerin yapısal karakterizasyonu, X-ışını kırınımı (XRD) yöntemi kullanılarak belirlendi. XRD sonuçları, MgO'in (200) ve (220) kafes düzlemlerine karşılık gelen baskın tepe noktalarının varlığını gösterdi. Bununla birlikte, düşük basınçta biriktirilen filmlerde MgO’in (111), (311) ve (222) kafes düzlemlerine karşılık gelen pikler de ortaya çıktı. Çalışma basıncı azaldıkça ortalama kristal boyutunun azaldığı, biriktirme hızının ise arttığı belirlendi. SEM analizi, MgO filminin nano-küresel mikroyapısının, tavlamadan sonra iri taneli bir nano-piramidal şekle dönüştüğünü gösterdi. MgO filmlerinin optik özellikleri Ultraviyole-Görünür spektroskopisi ile incelendi. Buna göre filmlerin absorpsiyon eşiğinin 310 nm dalga boyu civarında olduğu ve filmlerin optik bant aralığının 4,07 ile 4,14 eV arasında değiştiği belirlendi. Sonuç olarak görünür bölgede ortalama %95'e ulaşan yüksek geçirgenliğe sahip MgO filmler elde edilmiştir.
Keywords : Yüksek geçirgen filmler, Magnezyum oksit, Optik özellikler, RF saçtırma