Gold/palladium (Au/Pd) Bimetallic Thin Film Deposition by Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.