Optical Properties of AlInN/AlN HEMTs in Detail
Authors : Ömer AKPINAR, Ahmet BİLGİLİ, Mustafa ÖZTÜRK, Süleyman ÖZÇELİK
Pages : 521-529
Doi:10.31466/kfbd.954421
View : 21 | Download : 11
Publication Date : 2022-12-15
Article Type : Research Paper
Abstract :Bu çalışmada, Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme insert ignore into journalissuearticles values(MOCVD); tekniği ile c-yönelimli safir üzerinde büyütülen AlInN/AlN yüksek elektron hareketli transistör insert ignore into journalissuearticles values(HEMT); yapısının optik özellikleri incelenmiştir. Optik karakterizasyon Kubelka-Munk yöntemiyle yapılmıştır. Geçirgenlik, absorbans, yansıma detaylı olarak incelenmiştir. Ayrıca özel fonksiyonlar kullanarak InN\`nin yasak enerji bant aralığını belirlemek için Kubelka-Munk teorisinden yararlanılmıştır. Bu yöntemle elde edilen enerji bant aralığının karşılaştırılması yapılmıştır.Keywords : MOCVD, HEMT, AlInN InN, Geçirgenlik, Kubelka Munk Metodu, Mobilite