Bor Nitrür Kaplamaların Çelik Alt Malzemeler Üzerinde RF Magnetron Saçtırma Yöntemiyle Büyütülmesi

Authors : Halil CESUR, Bilgin KAFTANOĞLU, Ali KALKANLI, Baybars ORAL

Pages : 15-21

View : 44 | Download : 11

Publication Date : 2009-05-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bor nitrür kaplamalar Silikon ve çelik alt malzemeler üzerinde radyo frekanslı (rf) magnetron saçtırma yöntemiyle hekzagonal bor nitrür hedef plaka kullanılarak büyütülmüştür. Büyütme işlemi gaz oranı 5 e 1 olacak şekilde Argon ve Azot gaz karışımında ve 3x10-3 Torr basınç altında gerçekleştirilmiştir. Büyütme işleminde ana parametreler olan alt malzeme (bias) voltajı ve ortam sıcaklığının etkileri araştırılmıştır. Çalışmanın amacı bor nitrür kaplamaların alt malzeme yüzeylerinde oluşturularak metal kesme işleminde kullanılabilmesi için gerekli sertlik ve yapışkanlığı elde etmektir. Deneyler sonucu elde edilen kaplamaların nitelendirilmesi için Fourier transform kızılötesi spektroskopisi (FTIR), X-Ray fotoelektron spektroskopisi (XPS) ve Taramalı Elektron Mikroskobu (SERI) teknikleri kullanılmıştır. Çelik örnekler üzerindeki kaplamaların mekanik özellikleri ise kalınlık, sürtünme katsayısı, aşınma ve yapışkanlık ölçümleriyle belirlenmiştir. 
Keywords : Bor Nitrür, Magnetron Saçtırma, Yüksek Hız Çeliği

ORIGINAL ARTICLE URL