Synthesis of MoS2 thin films using the two-step approach

Authors : Serkan ERKAN, Ali ALTUNTEPE, Recep ZAN

Pages : 297-301

Doi:10.28948/ngumuh.1184705

View : 23 | Download : 14

Publication Date : 2023-01-15

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, hem PVD hem de CVD tekniklerinin kullanılmasına dayanan iki aşamalı yaklaşım kullanılarak MoS2 ince filmler büyütülmüştür. Filmler ilk olarak 1 nm Mo filmin PVD sisteminde saçtırma yöntemiyle ve ardından filmin CVD\` de 700oC\` de sülfürlenerek elde edilmiştir. Büyütülmüş filmler, farklı sülfürizasyon süreleri kullanılarak optimize edilmiştir. Çalışmamızın güncel literatürden temel farkı, kükürtleme öncesinde önceden ısıtılmış CVD fırını insert ignore into journalissuearticles values(700oC); kullanılmasıdır. Filmlerin kalitesi daha sonra AFM ölçümlerinin yanı sıra Raman ve Fotolüminesans spektrometresi kullanılarak araştırılmıştır. Raman spektrumları, tüm örneklerde 2H-MoS2 fazının iki karakteristik titreşim modunun gözlemlendiğini, ancak bazı filmlerde düşük sülfürizasyon süresinde 1T-MoS2 fazının titreşim modlarının da gözlendiğini göstermektedir. Bu sonuçlar ayrıca MoS2 filmlerinin doğrudan bant geçişini doğrulayan PL ölçümleriyle de uyumludur. Filmlerin yüzey topografyası, 1 nm kalınlığında Mo filminin 700oC\`de 15 dakikada sülfürlenerek elde edilen ve MoS2 kristallerini üçgen şeklinde gösteren MoS2 filmleri için AFM ile incelenmiştir.
Keywords : İki Boyutlu Malzemeler, Raman Spektroskopisi, MoS2, MoS2, Two dimensional materials, Two dimensional materials, Two dimensional materials, Two dimensional materials, Raman spectroscopy, Raman spectroscopy, Raman spectroscopy, Raman spectroscopy, PVD, PVD, CVD, CVD