Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi

Authors : Hilal Yücel KURT, Gülcan KALKAN, Metin ÖZER, Evrim TANRIVERDİ, Duygu YİĞİT

Pages : 161-165

View : 28 | Download : 9

Publication Date : 2014-12-01

Article Type : Research Paper

Abstract :GaAs yarıiletken katotlu çift gaz boşalma aralıklı plazma hücresinde sistem karakteristiklerinin oksitlenme nedeniyle kararsızlık sergilediği deneysel olarak elde edilmiştir. Sistem karakteristikleri geniş bir gaz basıncı insert ignore into journalissuearticles values(p = 28 – 342 Torr);, elektrotlar arası mesafe insert ignore into journalissuearticles values(d1 = 50 µm d2 = 50 – 320 µm); ve D = 9 mm lik yarıiletken katot çapı için deneysel olarak araştırıldı. U = 200-2000 Volt besleme gerilimi altında, Paschen eğrisinden kritik voltaj değerleri belirlendi.
Keywords : Gaz boşalması, GaAs, plazma, oksitlenme, çift aralık

ORIGINAL ARTICLE URL