Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Home Page
About
Submit A Journal
Submit A Conference
Submit Paper/Book
- Submit a Preprint
- Submit a Book
Contact

Politeknik Dergisi
Volume:18 Issue:2
Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Al/Al2o3/P-Si Yapısının Co Gaz Algılama Özellikleri

Authors : Irmak KARADUMAN, Nevin DEMİREL, Dilber Esra YILDIZ, Selim ACAR

Pages : 79-84

View : 42 | Download : 10

Publication Date : 2015-06-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme insert ignore into journalissuearticles values(ALD); metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar insert ignore into journalissuearticles values(300-450K); ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında insert ignore into journalissuearticles values(50-2000 ppm); gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.
Keywords : Gaz Sensör, Metal Oksit Yarıiletken, CO

ORIGINAL ARTICLE URL

* There may have been changes in the journal, article,conference, book, preprint etc. informations. Therefore, it would be appropriate to follow the information on the official page of the source. The information here is shared for informational purposes. IAD is not responsible for incorrect or missing information.