Atomik Tabaka Biriktirme Metodu ile Üretilen HfO2 Tabanlı Sensörlerin Hidrojen Gaz Algılama Özelliklerinin İncelenmesi

Authors : İrmak KARADUMAN, Özlem BARİN, Dilber Esra YILDIZ, Selim ACAR

Pages : 223-229

View : 39 | Download : 11

Publication Date : 2016-09-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Fosil yakıtların yakın gelecekte tükenecek olmaları ve çevreye CO2 gibi zararlı atıklar bırakmaları temiz, güvenilir ve geleceğin enerji kaynağı olan H2 gazının çok geniş ve değişik alanlarda kullanılmasının önünü açmıştır. Bu durum uygulama alanlarının hızla genişlemesine ve araştırmacıların H2 gaz sensörü üzerine yoğunlaşmasına neden olmuştur.Bu çalışmada p-Si yarıiletken üzerine Atomik Tabaka Biriktirme insert ignore into journalissuearticles values(ALD); yöntemi ile HfO2 ince film büyütülerek HfO2/p-Si yapı oluşturuldu. Üretilen numunenin farklı sıcaklıklarda insert ignore into journalissuearticles values(30°C-180°C); ve farklı gaz konsantrasyonlarında insert ignore into journalissuearticles values(1000ppm-4000ppm); zamana bağlı olarak hidrojen gazı için algılama özellikleri incelendi. Yapılan ölçümler sonucunda üretilen HfO2/p-Si ince filmlerin düşük sıcaklık hidrojen gaz sensörü olarak kullanılabileceği görüldü.
Keywords : Gaz Sensör, ALD, Hidrojen

ORIGINAL ARTICLE URL