MoO3 Arayüzey Tabakalı Metal/Yarıiletken Yapısının Düşük Frekans Değerleri için Dielektrik Özelliklerinin İncelenmesi

Authors : Yunus ÖZEN, Halil İbrahim EFKERE, Tarik ASAR, Süleyman ÖZÇELİK

Pages : 24-33

Doi:10.5281/zenodo.4843216

View : 43 | Download : 17

Publication Date : 2021-05-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, Molibden trioksit (MoO3) ara tabakalı Au/n-GaAs yapısının dielektrik özellikleri 0-4 V aralığında 0.25 V adımlarla düşük frekanslar için incelendi. MoO3 ince filmi radyo frekansı (RF) magnetron püskürtme yöntemi kullanılarak n-tipi GaAs alttaş üzerine biriktirildi. Au/MoO3/n-GaAs yapısının oda sıcaklığında 10, 20, 30, 50, 70 ve 100 kHz frekanslarında, kapasitans–voltaj (C–V) ve kondüktans–voltaj (G/–V) ölçümleri yapıldı. Bu ölçüm sonucunda C ve G dataları kullanılarak Au/MoO3/n-GaAs yapısının dielektrik parametreleri belirlendi. Dielektrik sabiti (
Keywords : Au MoO3 n GaAs yapısı, C V ve G w V ölçümleri, Düşük frekans analizi, Dielektrik parametreler

ORIGINAL ARTICLE URL