Yüksek Sıcaklıkta Tavlanmış Cu Katkılı ZnO (CZO) Arayüzeyli Au/N-Si Yapısının Dielektrik Özelliklerinin Detaylı İncelenmesi

Authors : Halil İbrahim Efkere

Pages : 82-89

View : 59 | Download : 35

Publication Date : 2024-05-29

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, Cu katkılı ZnO (CZO) arayüzeye sahip Au/n-Si yapısının dielektrik özellikleri araştırıldı. CZO ince film kaplama, RF püskürtme sistemi ile n-tipi Si levha üzerine gerçekleştirildi. Elektriksel analiz için Au metal kontağı yapılarak cihaz tamamlandı. Au/CZO/n–Si yapısının dielektrik parametreleri türü dielektrik sabiti (ε\'), dielektrik kaybı (ε\'\'), dielektrik kayıp tanjantı (tan δ ) ve ac iletkenliği (σ ac) kapasitans (????) parametreleri ve iletkenlik (????) verileri kullanılarak belirlendi. Bu veriler 10 kHz-1 MHz frekans aralığında 1, 2, 3 ve 4V için elde edilmiştir. Analiz sonucunda dielektrik parametrelerinin gerilim değerine bağlı olduğu görülmüştür.
Keywords : ZnO, CZO, yüksek tavlama sıcaklığı, dielektrik özellikler

ORIGINAL ARTICLE URL