Derin Enerji Seviye Spektroskopisi Çalışmaları İçin Bir Devre Tasarımı Ve Yapımı

Home Page
About
Submit A Journal
Submit A Conference
Submit Paper/Book
- Submit a Preprint
- Submit a Book
Contact

Gazi Üniversitesi Mühendislik Mimarlık Fakültesi Dergisi
Volume:8 Issue:1
Derin Enerji Seviye Spektroskopisi Çalışmaları İçin Bir Devre Tasarımı Ve Yapımı

Derin Enerji Seviye Spektroskopisi Çalışmaları İçin Bir Devre Tasarımı Ve Yapımı

Authors : Müzeyyen SARITAŞ

Pages : 0-0

View : 53 | Download : 14

Publication Date : 2013-02-13

Article Type : Research Paper

Abstract :Derin seviyeler yarı iletken teknolojisinde çok önemli bir rol oynamaktadır. Derin seviye geçiş spektroskopisi (DLTS) tekniği, derin seviyelerin önce doldurulup sonra boşaltılması halinde oluşan kapasitans geçiş sinyallerinin sıcaklığa bağlılığını inceler. Bu çalışmada, kapasitans geçiş sinyallerini ölçmek için çift örnekleme yönteminden yararlanıldı. Derin seviyeleri doldurup boşaltmak ve sinyal işlemek için; bir darbe üretici, saat devresi, ve örnekleme hızları değiştirilebilen bir sinyal işleme ünitesi tasarlandı ve yapıldı. Son olarak, DLTS ölçümleri için gereken bilgi edinme hızını ve bilgi kalitesini sağlamak amacıyla 72BD Boonton kapasitansmetrede özel değişiklikler yapıldı.
Keywords : Derin seviye geçiş spektroskopisi, DLTS

ORIGINAL ARTICLE URL

* There may have been changes in the journal, article,conference, book, preprint etc. informations. Therefore, it would be appropriate to follow the information on the official page of the source. The information here is shared for informational purposes. IAD is not responsible for incorrect or missing information.