Reliable Mircohotplate Design for High temperature Gas Sensing and IR Source

Home Page
About
Submit A Journal
Submit A Conference
Submit Paper/Book
- Submit a Preprint
- Submit a Book
Contact

Iğdır Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi
Volume:9 Issue:3
Reliable Mircohotplate Design for High temperature Gas Sensing and IR Source

Reliable Mircohotplate Design for High temperature Gas Sensing and IR Source

Pages : 1351-1358

View : 43 | Download : 11

Publication Date : 2019-09-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Microhotplate’ler (MHP) yüksek sıcaklıklarda gaz algılanması, ve IR kaynağı yapımı gibi çok önemli uygulama alanlarına sahip olmasına rağmen, göreceli yüksek sıcaklıklarda çalıştırıldıklarında oluşan yüksek termal stres’lerden dolayı kısa süreli dayanaklığa sahiptirler. Bu çalışmada yüksek sıcaklıklarda düşük termal stres’e sahip bir dizaynı, spring tipi dizaynın ve termal genleşme sabitleri yakın olan malzeme seçimininin avantajlarını birleştirerek elde ettik. FEM sonuçları düşük termal stres elde edebilmesini sağlayan ana etkenin termal genleşme sabitleri yakın malzemeler seçmek olduğunu göstermiştir. SiN/Polysilicon/SiN katmanlarına ship spring tipi dizayn sayesinde 2119 K sıcaklığında 180 MPa gibi düşük termal stres FEM kullanılarak elde edilmiştir. Sıcaklığın 2076 K değerine ulaşması için gereken tepkime süresi ve güç tüketimi 200 ms ve 3.47 mW olarak hesaplanmıştır.
Keywords : Microhotplate, MEMS mikroelektromekanik sistemler ve sensörler, düşük termal stres, yüksek sıcaklık, IR infrared kaynağı, gaz algılaması

ORIGINAL ARTICLE URL

* There may have been changes in the journal, article,conference, book, preprint etc. informations. Therefore, it would be appropriate to follow the information on the official page of the source. The information here is shared for informational purposes. IAD is not responsible for incorrect or missing information.