Mikro Elektro Mekanik Sistemler, Genel Bir Tanıtım

Home Page
About
Submit A Journal
Submit A Conference
Submit Paper/Book
- Submit a Preprint
- Submit a Book
Contact

Makina Tasarım ve İmalat Dergisi
Volume:4 Issue:3
Mikro Elektro Mekanik Sistemler, Genel Bir Tanıtım

Mikro Elektro Mekanik Sistemler, Genel Bir Tanıtım

Authors : Melik DÖLEN, Halit KAPLAN

Pages : 173-185

View : 37 | Download : 14

Publication Date : 2002-05-01

Article Type : Other Papers

Abstract :Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilecektir. Bu makalede ayrıca mikro-mekanik sistemlerin (dizgelerin) tasarlanmasında kullanılan ölçeklendirme kanunları ele alınacaktır.
Keywords : mikro elektro mekanik sistemler, mikro işleme, elektro erozyon

ORIGINAL ARTICLE URL

* There may have been changes in the journal, article,conference, book, preprint etc. informations. Therefore, it would be appropriate to follow the information on the official page of the source. The information here is shared for informational purposes. IAD is not responsible for incorrect or missing information.