In2O3 ince filmlerin yapısal, morfolojik, optik ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi: gaz sensörü uygulamaları

Authors : Tarık ASAR, Burak KORKMAZ, H İbrahim EFKERE, Nihan AKIN, Süleyman ÖZÇELİK

Pages : 265-271

Doi:10.2339/politeknik.403971

View : 45 | Download : 18

Publication Date : 2018-06-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, RF magnetron püskürtme yöntemi ile 50W ve 100W güç değerlerinde, iki adet In 2O3 ince film üretildi. Üretilen ince filmlerin yapısal, morfolojik ve optik özellikleri belirlendi. In 2O3 ince filmlerin sensör fabrikasyonları tamamlanarak, In 2O3 gaz sensörleri elde edildi. Gaz sensörleri; bütan gazı konsantrasyonu, uygulama voltajı ve sensör çalışma sıcaklığı değiştirilerek test edildi. Test sonuçları incelendiğinde, üretilen her iki sensörün de farklı sensör çalışma sıcaklığı ve gaz konsantrasyonları için kullanıma uygun olduğu görüldü.
Keywords : Metal oksit yarıiletken, indiyum oksit, gaz sensörü

ORIGINAL ARTICLE URL