Farklı Üretim Parametrelerinin Katı Faz Kristalizasyon (SPC) Tekniği Kullanılarak Üretilen Polikristal Silisyum İnce Filmlerin Kalitesi Üzerine Etkileri

Authors : Özge TÜZÜN ÖZMEN, Salar Habibpur SEDANİ, Mehmet KARAMAN, Kadir GÖKŞEN, Raşit TURAN

Pages : 469-475

Doi:10.2339/politeknik.457955

View : 38 | Download : 10

Publication Date : 2019-06-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Yüksek elektronik kaliteleri ve optimize edilmiş eklem yapıları nedeniyle SiN x kaplı cam alttaş üzerindeki polikristal silisyum insert ignore into journalissuearticles values(poly-Si); ince filmler, hacimsel silisyum bazlı güneş hücrelerine karşı umut vaat edici alternatif yaklaşımlardır. Bu çalışmada, poly-Si filmler katı faz kristalizasyonu insert ignore into journalissuearticles values(SPC); tekniği ile üretilmişlerdir. Filmler, klasik tüp fırında 600 o C’de 8-26 saat aralığında kristalleştirilmişlerdir. SiN x kaplı cam alttaş üzerindeki poly-Si ince filmlerin yapısal ve optiksel özellikleri araştırılmıştır. Poly-Si ince filmlerin yönelimi ve kristalit büyüklüğü X-ışını kırınımı insert ignore into journalissuearticles values(XRD); kullanılarak incelenirken filmlerin kristallenme derecesi mikro Raman spektroskopisi ile çalışılmıştır. Kristalizasyon süresinin filmin kalitesi üzerine önemli etkileri olduğu bulunmuştur. Deneyler sonucunda, tavlama süresi 8 saatten 26 saate arttırıldığında kristallenme derecesinin %10’dan %95’e arttığını göstermiştir. 600 o C’de kristallenen SPC poly-Si filmlerin tercihli yönelimi tüm tavlama zamanları için <111>’dir. Diğer yandan, artan tavlama süresi kristalit boyutunu 29,6nm’den 36,3nm’e büyütmüştür. Bu analizlere ek olarak, bu çalışmada, e-demeti sistemi ile büyütülen a-Si’un üretim esnasında kullanılan potanın SPC poly-Si filmin kristal kalitesi üzerine etkileri de araştırılmıştır. Sonuçlar göstermiştir ki e-demeti sisteminde kullanılan potanın malzemesinin grafit yerine molibden insert ignore into journalissuearticles values(Mo); olması gerektiği ve SPC tekniğini ile oluşturulan poly-Si filmlerin kalitesi üzerine önemli etkisi olduğu görülmüştür.  
Keywords : İnce film, polikristal silisyum, katı faz kristalizasyon, üretim parametreleri

ORIGINAL ARTICLE URL