Sol-Jel Yöntemiyle IGZO Partiküllerin Üretimi, Peletlenmesi ve Karakterizasyonu

Authors : Serdar YILDIRIM

Pages : 1317-1325

Doi:10.2339/politeknik.724867

View : 45 | Download : 27

Publication Date : 2021-09-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Yüksek elektron mobilitesi, düşük eşik gerilimi ve kaplama sonrası şeffaf özellik gösteren İndiyum Galyum Çinko Oksit insert ignore into journalissuearticles values(InGaZnO4, IGZO); malzemesi ekran teknolojilerinde artan bir ivmeyle kullanılmaya başlamıştır. Bu çalışmada sol-jel yöntemi kullanılarak IGZO partikülleri başarılı bir şekilde üretildi. Sentezlenen tozlar 1100 ve 1250 °C ‘de kalsine edildi. Benzer şekilde tozlardan üretilen peletlere farklı sinterleme sıcaklıklarında ısıl işlem uygulandı. Sentezlenen partiküllerin ve peletlerin yüzey morfolojisi ve partikül boyutu, kristal ve faz yapısı, kimyasal kompozisyonu ve termal davranışları sırasıyla taramalı elektron mikroskobu insert ignore into journalissuearticles values(SEM);, X-ışınları kırınımı insert ignore into journalissuearticles values(XRD);, X-ışını fotoelektron spektroskopisi insert ignore into journalissuearticles values(XPS); ve Diferansiyel Termal Analiz-Termogravimetrik Analiz insert ignore into journalissuearticles values(DTA-TGA); cihazları ile gerçekleştirildi. Faz analizi sonucu tamamen kristalin InGaZnO4 fazı elde edildi. 12 saat boyunca 1300 oC ‘de sinterlenen IGZO peletlerin bağıl yoğunluğu, %93 olarak belirlenmiş olup, yüksek IGZO kristal yapısı ve büyük tane boyutu göstermiştir. Çalışmamda geliştirilen IGZO partikülleri ve peletler elektronik cihazların uygulanmasında kullanılan yüksek kaliteli hedef malzemeler için potansiyele sahiptir.  
Keywords : IGZO, Sol Jel, hedef malzeme, pelet

ORIGINAL ARTICLE URL