ZnO Yarıiletken Filmlerinin Optik, Elektrik ve Yüzey Özellikleri Üzerine Isıl Tavlama İşleminin Etkileri

Authors : Olcay GENÇYILMAZ, Ferhunde ATAY, İdris AKYÜZ

Pages : 56-60

Doi:10.19113/sdufbed.76992

View : 16 | Download : 12

Publication Date : 2014-07-14

Article Type : Other Papers

Abstract :Bu çalışmada, ZnO yarıiletken filmleri ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği insert ignore into journalissuearticles values(UKP); kullanılarak cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Üretilen filmlerin bazı fiziksel özelliklerini iyileştirmek için farklı sıcaklıklarda ısıl tavlama işlemi yapılmış ve filmlerin optik, elektrik ve yüzey özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. ZnO filmlerinin elemental analizleri yapılarak filmlerin stokiyometrisi belirlenmiştir. Geçirgenlik ve soğurma spektrumları UV-VIS spektrofotometre kullanılarak alınmıştır ve yasak enerji aralıkları optik metot ile belirlenmiştir. Ayrıca filmlerin kalınlıkları, kırılma indisi insert ignore into journalissuearticles values(n); ve sönüm katsayısı insert ignore into journalissuearticles values(k); değerleri spektroskopik elipsometre insert ignore into journalissuearticles values(SE); cihazı kullanılarak belirlenmiştir. Filmlerin yüzey görüntüleri ve yüzey pürüzlülük değerleri atomik kuvvet mikroskobu insert ignore into journalissuearticles values(AKM); kullanılarak incelenmiş ve elektriksel özdirençleri dört uç metodu ile belirlenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre, ZnO filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin ısıl tavlama işlemi ile iyileştiği belirlenmiş ve ZnO filmlerinin çeşitli teknolojik alanlarda kullanım potansiyeli araştırılmıştır.
Keywords : Ultrasonik kimyasal püskürtme, ZnO, Spektroskopik elipsometre, Atomik kuvvet mikroskobu