Korning Cam ve Si Alttaşlar Üzerine RF Magnetron Püskürtme ile Büyütülen SnO2 İnce Filmlerin Derinlik Profil Analizi

Authors : Nihan AKIN SÖNMEZ

Pages : 647-650

Doi:10.19113/sdufenbed.508867

View : 17 | Download : 11

Publication Date : 2019-08-25

Article Type : Research Paper

Abstract :Tetragonal yapıdaki SnO 2 ince filmleri insert ignore into journalissuearticles values(100); yönelimli n-tipi Si ve korning cam alttaşlar üzerine oda sıcaklığında RF magnetron püskürtme tekniği ile büyütüldü. Büyütülen yapıların atomik dağılımı ve arayüzey durumları, İkincil İyon Kütle Spektrometresi analizlerinden elde edilen derinlik profili spektrumları ile değerlendirildi. Film derinliği boyunca Sn ve O atomik dağılımının homojen dağılım sergilediği görüldü. Bununla birlikte, Si alttaş üzerine büyütülen SnO 2 filmi ile Si alttaş arasında çok ince bir SiO 2 tabakasının oluştuğu, hassas bir şekilde SIMS tekniği ile belirlendi. Oluşan SiO 2 ara-tabaka kalınlığının, püskürtme kinetiğine -RF büyütme gücüne- bağlı olduğu belirlendi.
Keywords : RF püskürtme, SnO2, İnce film, SiO2 ara tabaka, SIMS