Investigation of SnO2 and Ti-Doped SnO2 Thin Films for Morphological, Structural and Electrical Characterization

Authors : Ahmet Buğrahan BAYRAM, Tuğba ÇORLU

Pages : 1-12

Doi:10.47933/ijeir.1178891

View : 17 | Download : 8

Publication Date : 2023-01-20

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, platin interdigital kontakları üzerinde ardışık iyonik absorpsiyon ve reaksiyon yöntemleri ile SnO2 ve Ti katkılı SnO2 ince filmler üretilmiştir. Üretilen ince filmler tavlanmamıştır. Amorf ince filmlerin yapısal özellikleri, X-Işını Kırınım insert ignore into journalissuearticles values(XRD); kullanılarak, morfolojik özellikleri, Taramalı Elektron Mikroskobu insert ignore into journalissuearticles values(SEM); kullanılarak, Ultraviyole-görünür Spektrofotometre insert ignore into journalissuearticles values(UV-VIS); ve Keithley 2400 cihazlarının optik ve elektriksel özellikleri araştırıldı. XRD sonuçlarından ince filmlerin amorf bir yapı olduğu belirlendi. SEM ile yapılan yüzey analizi, tüm filmlerin kaplanmış ve pürüzsüz olduğunu göstermektedir. Akım-voltaj ölçümleri, ince filmlerin omik olduğunu göstermektedir. Lnρ sonuçları ayrıca, SnO2 ince filmler için en düşük direnç değerinin 320 °C sıcaklıktan sonra ve Ti katkılı SnO2 ince filmler için 360 °C sıcaklıktan sonra olduğunu göstermektedir.
Keywords : Ardışık iyonik tabaka adsorpsiyonu ve reaksiyonu SILAR, Kalay dioksit SnO2, Karakterizasyon