Gold/palladium (Au/Pd) Bimetallic Thin Film Deposition by Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Authors : Volkan ŞENAY

Pages : 1377-1384

Doi:10.21597/jist.513363

View : 37 | Download : 5

Publication Date : 2019-09-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.
Keywords : Bimetalik ince filmler, optik özellikler, yüzey özellikleri, düşük serbest yüzey enerjisi

ORIGINAL ARTICLE URL